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VacIon Plus 500 離子泵體積與重量適中，可提供較高抽速，用于需要達(dá)到超高和極高真空條件的實(shí)驗(yàn)室。
VacIon Plus 500 離子泵具有三種元件類型。二極離子泵元件適用于通用的 UHV 和 XHV 應(yīng)用，在此應(yīng)用中氫氣抽速至關(guān)重要，系統(tǒng)很少排氣或發(fā)生空氣泄漏。三極離子泵適可處理大量惰性氣體（優(yōu)于改進(jìn)型二極離子泵更好）和氫氣（與二極離子泵相當(dāng)）。三極離子泵對(duì)甲烷、氬氣和氦氣同樣具有最高的抽速和容量。改進(jìn)型二極離子泵元件適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用 UHV 和 XHV 應(yīng)用。
特性
配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 8 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 8 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側(cè)孔，可選不同方向的真空穿導(dǎo)件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）
無活動(dòng)部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動(dòng)運(yùn)行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可最大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學(xué)擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
性能指標(biāo)
| 加熱器電壓 |
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| 加熱器電源 |
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| 單元類型 |
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| 工作壽命 |
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| 抽氣口法蘭 |
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| 最大啟動(dòng)壓力 |
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| 最高烘烤溫度 |
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| 極限真空 |
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| 真空高壓接頭類型 |
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| 重量（只有泵時(shí)） |
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工作原理
二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個(gè)帶正電的陽極環(huán)元件和一個(gè)帶負(fù)電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應(yīng)。濺射和吸收效應(yīng)與二極離子泵的抽氣效應(yīng)同步。
三極離子泵元件技術(shù)
陰極無法捕獲惰性氣體（如氬氣），因此必須將它們傳輸?shù)疥枠O進(jìn)行泵送。這些原子有兩種傳輸方式：使用較重的陰極材料（鉭）或不同的幾何形狀（三極泵）。三極離子泵由安捷倫（原瓦里安）基于改進(jìn)的陰極幾何結(jié)構(gòu)發(fā)明。星形陰極增加了惰性氣體作為高能中性粒子傳輸?shù)母怕剩侁帢O可確保為 XHV 范圍內(nèi)的殘留氣體 H2 提供高抽速。
SEM 陽極設(shè)計(jì)
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比，在許多應(yīng)用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計(jì)。由于泄漏電流會(huì)與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請(qǐng)了一項(xiàng)陽極設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預(yù)防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
